������ ������������� ����� � ��������� ������������� ������

��������� ����. ��������� ���� �����: -��������� ���������� ���� � �������������� �������; -������� � ����������� ��� ��������� �����; -������ ������� ������� ��������� �����; -������� ���������� ��������� ���� �� � ������; -������� ���������� ��������� �����.

���������, �������� � ���������� ��������������������������� ����������

��������. ��������� ����� � ���������� ���������� ����������� ����������� � ���������������� �������� - GeCl4, ������� ���������� ������������ ����������� � �������� - GeO2. �������� �������� ����������������� ��������� �� ����������� ��������, �������, ����� ���������, ����������� � ������. ������ ���������� � ���������� ����� � ������������ ������� ������� ������ ������, � ����� �� �������� ���������� �������� ������������ ������������.

������������������� �������� ������������ � ������������ ����������������� ��������: ��������� �������� ��������, ������������, ��������� ������� ������, ��������������, �������� �����, ������� ������������ � �������� ��� ��������� ������������� ��������� �����.

��������� ��������� �������������������� �������� ��������� � ������� 6.2.

������� 6.2

��������� ��������� �������� ��������. ���������� ����������� ������� ������������� �����

���������, �/��

5,3

�������� �������������, �� .��

68

������ ����������� ����, ��

0,72

��������� ���������� �����������, 0�

- 60 70

� ���������� �������� �������������������� �������� ����������� ��������-�������� ����, ���������� ��� ����� � ������� �����, �������� -��� 0,3/0,2.

������ ����� ����� �������� ��������, ������ ����� - ��� ������������, ������ ����� - �������, ������� �������� ��������� (� - ������, � - ������, � - �����). ��������� ����� �������� �������� ������������� ��������� � ��.��, � ����������� ������������ ����� ���������� ��������� � ��, �.�. ����������, �� ������� ���������� ������������ ���������� ���������, ��������� ��� ��������� �������� �����������, ����������� ���������� ������������ � "e" ���.

�������������, ����� ��� 0,3/0,2 ��������: �������� �����������, ������������ ������� ����� �������� ������������� 0,3 �� . �� � ������������ ����� ����� - 0,2 ��.

�������. � �������������� �������� �������������� ���������������� ������� - SiCl4 ������ ����� ��� ����������� ~1000 0C, � �������� ���������. ����� ������� �������� ����� �� ���������, ��� � ��������, ������ ������ ������ ���������� ��� �����, ��� ��� ������� ��������� � ��������. ���������� �������������������� ������� �������� �� ��� �� ���������, ��� � ��������, �������� - ��� 0,3/0,1. ��� ������ ��������: ������� �����������, ������������ ��������, �������� ������������� - 0,3 �� . ��, ������������ ����� ���������� ��������� - 0,1 ��.

������������ ������������������� ������� � ������������ ��������, ������������, ������������ ����.

������� ������ ������� ���������� � ����������������� ��������, ������������� �� �������, ���� ��� � �������� ������������� �� �������� � � ����������� �� ������� ������� ����� ��������� 120-200 0C.

���������� ���� AIIIBV. ��� ���� ����� ������� ����������� ������ ���������� ��������� ���������, ����� ��� ������ ����������� ���� � ����������� ��������� ��� �������� ����������������� ��������. �� �������� ����� �������, ����������� ��� ���� ���������� ����� ����, ����� �������� ���������:

����������� ��������� ���� ���������� ���������� � ������ ���������� �������� ������;

����������� ��������� ���������� � ������ ��������� ������� �����;

����� ��������� ���� ���������� ����� ���� ���������� ��������� ���������, �������� � ����������, �� ����������� ���������� �����, � �������� ����������� ��������� ����� ����� ������������� ��������� ����� � ������;

������ ����������� ���� ����������� � ����������� ��������� ������� ����� � ���������� ������ ���������, �������� � ����������;

����� ������� ����������� ���� � ������������ ��������� ������� ������ ������������������;

� ����������� ������ ����������� ����, � �������� ������ ������ ����������, ����������� ���� ������������ ���������;

���������� �������� ����������� ���������� ��������� ���������� �������� ����������� �����.

���������� ������������ �������� � ��������� ����� ����� ������� ������ � ��������� �����. �������� ������� �� ��������� �������� ���������������� �������������� ����������� � ������� ��� � �������� ��������� ��������� ����.

������ ����������� ���� �������� ������ ��������� ������ ����������� ���� �������� � �������, � ����������� ���������� ����, ��� � �������� � �������, ����������� ����� - ����� ��, ��� � �������. ����, ������ � ���� �������� �����������, ������ ������� ����� ���� ������� ��������� ���� �� 0,08 �� 0,37 ��. ��������� ��������� ��� �������� ������ �������� ����, ����� � ������, � ����� �������� ��������� ������ ��� ������ �������������, ����� � ��������������� ������� ��� �������� ����� ������. ��� ������� �������������, ��� ���������� ������������ ���������, ��� ��� ������ � ������� ������, ������� � ������, � ������.

������� ������ ������������ � ������������ ������������� � ������� ������������� ��������� ��������, ���������� �������������� ���������, ���������� ������, ����������������� �������.

��������� ���������� ����������� �������� �� ������ �������� ������ - 450 0C.

��������� ����� - InSb �� ��������� � ������� ������������������ ����������� ���������� ����� ������� ������������ ����������, ������ ����������� ���� �������� � ���������� ������� 0,2 ��, ������� ��� ��� ��������� ����������� ������������ ��� ���������� �����������, � �� ���������.

�������� ��������� ����� ����������� � ����������������� ����������� ����� � ������, ���������� ����� �������� ������ �������, ����� ������� �� ���� ���������� ������������. ��������� ����� ������������ � ������������ ������������� ������� ����������������, ������������������ ����������� � �������������.

������ ����������

���� �., ������ �. ������ �������� ����. �.: ���, 1966, 567 �.

������� �. ������ �������� ����. �.: ���������, 1963, 696 �.

������ �.������� ������������������ ����������.��.:, �.: ���������������, 1962, 255 �.

������������ �.�., �������� �.�., ������ �.�. ������������������ ���������. �.: �������, 1969, 408 �.

������� �.�. ������ ������ ����������������� ��������. �.: ��������� �����, 1963, 655 �.

�������� �.�., ������� �.�., ������ �.�. ����������������� �������. �.: ������ �����, 1966, 414 �.

���������� �.�., ��������� �.�. ����������������� �������. �.: ������ �����, 1967, 348 �.

���� �. ���������� ���������� ��� ���������������� ��������. �.:, �.: ��������������, 1957, 448 �.

������������� ��������� ��� ����������� ����.��.:, �.: �������, 1966, 631 �.

�������� �.�., ������� �.�., ���������� �.�., �������� �.�. ����������������� ������. �.:, �.: ������, 1962, 312 �.

������ ������������ ������� ��������� ��������

������ ��������� ����������� � ��������

������ ��������������� ������������� ����������� ���������� ����� ���������������� ������������� ���������� ����� �������� ��� �������� ��������: ������������ ������� �� ������������ V�1 � V�2, ������������ ������� (��������� ����������� ����) �� ����������� V�3 � �������� �������� ���������� �� �������������. ���������� ������������ ��������� �������� ���������� V�1, � ���������� V�2 �������� ����������� ��������� ����� ������� �������� �������������� ��������� ����������� ���� � ����� ������� �������������� ������������� ����������� V�1.

������ ������������ ������������ �����������

�������������� �������� �������������� ���������. �������� � ������� ����������. ���� �����-��������� ����������, ����������� � ��������� ����� � �� ���������. ������ ���������� �������������� �������������� ����������. ������� ������������ ����������������. ����� �����������. ������ �� ����������. ���������� �������, �� ���������� � ��������������� �������.
��������� ���� ���������������� ����